Geological and Mineral Surveying and Mapping

硅基材料作为现代半导体工业的核心,其纯度直接关系到电子器件的性能与可靠性。因此,精确测定硅基化学样品中的微量杂质元素对于材料质量控制至关重要。电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)技术以其高灵敏度、宽动态范围和多元素同时检测能力,成为硅基材料中杂质元素分析的首选方法。本文综述了ICP-MS在硅基化学样品杂质元素分析中的应用现状,重点讨论了样品前处理技术、仪器操作条件优化、干扰效应识别及消除策略,旨在为提升硅基材料杂质分析的准确性和效率提供理论指导和实践参考。